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测量行程：600mm×500mm (X×Y)
工件限高：300mm (Z)
示值系统：怡信Easson光栅尺
分辨率： 1μm
示值精度： E=(4.0+L/200)um (L单位为：测量长度)，精度单位为：um级别
重复精度：0.002 mm
玻璃面尺寸：648 mm×548 mm
载物台尺寸：750 mm×650 mm
驱动系统：日本松下Panasonic交流伺服马达及驱动器
传动方式：台湾研磨级丝杆
导轨型式：怡信Easson高精度双滑块导轨
操作方式：摇控手柄、鼠标拖运、程序检测
影像系统：Easson高解析度CCD影像头( 1/2”SONY CCD Sensor) 及支专用DSP
影像撷取卡：怡信Easson自主设计影像测量仪专用卡
物镜：怡信Easson自主设计TC精密多段定倍自动变倍远心镜头
光学倍率光学放大倍率0.7×-4.5×，（0.5X，1.5X，2.0X附加镜片）
实际倍率：25-145×（配附加镜片可达到10X-250X）
照明系统： 四路上光源，
直轴可调下光源
量测软件：怡信Easson自主开发Easson 2D自动版光学视觉量测软件
工作机台：高精度花岗岩平台
机台承重：30kg
整机重量：1700 kg
整机尺寸：2500 mm×1350 mm×1850 mm
电源：AC 220±5V、50Hz
使用环境：温度 18-22℃、±1℃；湿度30%-80%；震动15Hz以下＜0.001g。